发布日期：2020-6-23 11:09:00
宽幅等离子清洗机的喷头结构深圳等离子设备厂家：诚峰智造
产品特点：配置专业移动平台，一键式控制启动，操作简单；
工业的航空航天电连接器表面清洗；通用行业的丝网印刷、转移印刷前处理等。
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自动X/Y轴式AP等离子处理系统CRF-APO-200P
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等离子体清洗主要用于基体表面的物理清洗和表面粗化。因此，等离子清洗机广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等行业。
一、表面清洁 在晶圆、玻璃等产品的表面颗粒去除过程中，通常采用等离子体对表面颗粒进行轰击，以实现颗粒的分散和松动，然后再进行离心清洗等工艺。尤其是在半导体封装过程中，完成打线工艺后防止导线氧化，是采用氩等离子体或氩氢等离子对表面进行清洗。
二、表面粗化 等离子清洗机的表面粗糙也称为表面刻蚀，目的是提高材料的表面粗糙度，从而增加材料的粘接、印刷和焊接。活性气体处理过后也可以增加表面张力，等离子化产生的颗粒相对较重，在电场作用下等离子的动能明显高于活性气体，因此其粗化效果更明显，在无机物表面粗化过程中应用最广泛。如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等。
三、活性气体辅助 在等离子清洗机的活化和清洗过程中，混合工艺气体相对来说会取得较好的效果，电离后产生的颗粒比较后，当表面清洗和活化通常与活性气体结合时效果较好。
等离子清洗机的作用原理主要是：
1）对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
2）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
3）形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性
等离子清洗机、等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离去胶、等离子涂覆、等离子灰化和等离子表面处理等场合。通过其等离子表面处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
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