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氩气plasma清洗工作原理

发布时间:2020-7-17 14:10:28


plasma等离子清洗机(www.sfi-crf.com)会应用到各种各样加工工艺气体,表层清理和活化一般会应用到氧、氢、氮和空气压缩,然而依据加工工艺的不同也会应用氩气。那么为何要应用氩气这类气体呢,及其它在plasma清洗机中的主要发挥的功效是什么。

plasma清洗机

氩是一种无色,无味的惰性气体,工业上主要用在电弧焊接和金属材料激光切割保护上,氩是一种惰性气体,所以弱电解质后造成的离子体与基材不产生化学变化。在plasma清洗中,氩用在基材表层的物理学清理和表层粗化。因而,氩等离子清洗机广泛运用于半导体材料、微电子技术、晶圆制造等制造行业。真空等离子清洗机中氩离子产生的辉光是暗红色的。在同样充放电自然环境下,氢气、氮气产生的等离子体均为鲜红色,不过氩气的色度小于氮气,高过氢气。


在圆晶、夹层玻璃等产品的表层颗粒物除去灰尘全过程中,一般选用氩气对表层颗粒物开展轰击,以完成颗粒物的分散化和松脱,随后再开展超声清洗或离心清理的工艺。尤其是在半导体封装全过程中,进行导线加工工艺后避免被空气氧化,也是选用氩气清洗机或氩氢等离子表层清理。

氩氢混合应用不仅可以提升粗糙度外,还能有效除去焊层表层的有机化学空气污染物,对表层微空气氧化进行还原,普遍应用在半导体和工厂SMT等行业。

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