等离子清洗机真空腔体（www.sfi-crf.com）是一种维持真空泵內部状况的容器，真内腔的品质是等离子清洗机质量特性好与坏的条件之一。不管是镀膜或是表面产品等作业是需要在腔体内进行一系列的操作，腔体的设计需要考虑到容积、使用的原材料和根据不同设备使用的形状。

    有些等离子清洗机是为了半导体清洗而设计的，以便半导体材料运用中真内腔的总数，开发设计了真内腔，圆晶容积基础不会改变。该构造选用含有压力差真空泵槽的预订位气滚动轴承的泵。不锈钢板是建造真内腔的关键构造材料之一，也可以根据实际的需求采用不同的材质。在其中三百系列产品不锈钢板为百分之十到百分之二十高碳钢，广泛运用于高真空、超高装置之中。

    方便减少真内腔的产品成本，铝合金铸造也获得了普遍的运用。除此之外，也有很多应用钛金属生产制造专用型真空内腔的设备。为了减少内腔内壁的面积，一般选用喷砂处理或化学抛光的方式得到光滑的表面。选用电解抛光对超高真空系统的内腔开展了生产加工，电焊焊接是真内腔生产制造的关键步骤之一。为了防止熔化金属材料和氧在空气中的产生的化学变化从而让电焊焊接品质遭受危害，一般选用氩弧焊进行电焊焊接。氩弧焊就是指在电焊焊接全过程中在钨电极周边，喷涌出氩气以避免金属材料在高温下空气氧化。