发布日期:2017-12-14 14:00:00
精密六自由度定位平台,并联机器人平台,六自由度平台,体积小,负载大的电动六自由度精密定位平台
负载 500kg
转动精度 10角秒
XY方向转动范围 12度
Z方向转动范围 15
移动精度 2μm
XY移动范围 50mm
Z移动范围 80m
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