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精密定位平台

发布时间：2017-12-14 13:37:00

负载 500kg

转动精度 10角秒

XY方向转动范围 12度

Z方向转动范围 15

移动精度 2μm

XY移动范围 50mm

Z移动范围 80m

精密定位平台1

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